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Spartan™300mm 4 I/O Sorter
晶圆处理机器人
真空机器人
MagnaTran®7 BiSymmetrik™
MagnaTran®7 BiSymmetrik™
MagnaTran®7 BiSymmetrik™(MAG 7b)机器人整合了MagnaTran产betway88必威betway88必威品家族的所有技术优势,从而实现了> 11百万的平均故障循环(MCBF)。
MagnaTran®7 Frogleg™
MagnaTran®7 Frogleg™
MagnaTran®7 Frogleg™(MAG 7f)机器人整合了MagnaTran产betway88必威betway88必威品家族的所有技术优势,演示的平均故障周期(MCBF)为>11万。
MagnaTran®7超越®
MagnaTran®7超越®
MagnaTran®7 Leapfrog®(MAG 7 X)机器人保留了MagnaTran产品家族的所有功能和优点,同时在要求很高的集群工具应用中拥有最高的可用吞吐量。
MagnaTran®7 SCARA
MagnaTran®7 SCARA
MagnaTran®7 SCARA (MAG 7)机器人整合了MagnaTrabetway88必威betway88必威n产品家族的所有技术优势,导致演示的平均故障周期(MCBF)为> 1100万。
MagnaTran®8 QuadraFly
MagnaTran®8 QuadraFly
MagnaTran®8Quadrafly机器人利用经过验证的Scara Arm技术和可靠的直接驱动机器人,在小容纳旋转直径内,在真空中同时交换四个晶片。
MagnaTran®8半径™
MagnaTran®8半径™
双臂MagnaTran®8 Radius™机器人将MagnaTran现场验证过的直接驱动技术的优点扩展到了三轴驱动。此外,MagnaTran利用经过验证的SCARA臂技术,在较小的容器直径内提供不到4秒的快速交换。
晶圆处理系统
真空系统
VCE负载锁
真空卡式电梯(VCE)负载锁
可提供四种风格,以适应您的晶圆制造环境,VCE 6真空盒电梯负载锁提供成本效益,最先进的工厂接口,使安全,清洁AGV, RGV,或人力操作转移高达200mm SEMI标准晶圆盒。
马拉松™2运输系统
马拉松2运输系统
Brooks先进的真空晶圆传输技术非常适合半导体晶圆加工和其他复杂制造环境中的工具自动化应用。我们提供一系列的系统,可用于100mm至450mm晶圆传输的多种配置,以满足特定的制造环境和工艺要求。
马拉松™表达
马拉松快递真空运输系统
Marathon Express®是一款模块化、可配置的真空传输系统(VTS),针对100mm、125mm、150mm和200mm晶圆尺寸应用的优越真空性能和高通量进行了优化。
大气系统
Jet™大气传输系统
喷射式大气输送系统
Jet是所有Brooks晶圆处理系统的核心大气自动化子系统,是第一个在系统级设计的EFEM,使客户能够围绕一个共同的核心构建工艺工具。Jet采用了基于行业标准的灵活、模块化架构,能够实现快速安装、缩短周期,并与现有fab设备和流程无缝集成。
RFID和IR资产跟踪
工厂自动化解决方案
斯巴达式的分类器
斯巴达式的分类器
这种统一的晶圆管理系统以最小的规模和复杂度来完成其核心工作——尽可能干净和快速地移动晶圆。提供改进的可靠性和最大化的效率,同时提供行业领先的清洁度和最低的颗粒水平。
负载端口
IsoPort™300负载端口
isport 300装载端口
高度可配置的自动化晶片处理解决方案,易于集成任何工具。许多先进的好处,设备制造商和芯片制造商过渡到300mm晶圆。
视觉™300负载端口
Vision 300装载港
视觉加载端口模块是布鲁克斯最新一代的加载端口模块。是300mm、450mm刀具自动化的智能、灵活的工厂接口模块。与lpm不同的是,lpm需要大量的前置时间来设置和集成,而Vision加载端口模块的设计是为了实现最大的互操作性、无缝互换性和易于配置。
Certon™450装载端口
Certon™450装载端口
Certon™450mm负载端口符合450mm FOUP, FOSB和MAC(多应用载波)标准。
十字线处理
M2十字线兑换商
M2十字线兑换商
布鲁克斯M2导线变换器是一种导线/掩模交换和检测系统。单个I/O工作站允许在所有扫描仪/步进器和运输盒之间传输刻线/掩模,如佳能,尼康,ASML, Toppan, Hoya, DMS盒等)。
狭窄的十字线索引器
狭窄的十字线索引器
改善十字线库存的效果。保护丝网免受各种来源的颗粒污染和空气分子污染,同时提供一个标准的界面,以光刻工具。
SMIF解决方案
负载端口传输(LPT)
负载端口传输(LPT)
人机工程学设计的SMIF-I/O,轻松集成SMIF-Pod盒加载和卸载到各种各样的200毫米和150毫米晶圆处理和计量工具。
SMIF-INX索引器
SMIF-INX索引器
设计用于为固定z轴晶圆处理器提供晶圆索引或为z轴晶圆处理器提供固定计划的盒定位。
VersaPort™2200负载端口
VersaPort 2200负载端口
业界最先进的200mm标准机械接口(SMIF) I/O加工工具及其装载端口开启器。VersaPort 2200作为200mm到300mm过渡的“桥接工具”设计,同时也提供了一种SMIF I/O处理的开式盒式磁带解决方案。
半导体污染控制
特色产品
M800全自动300mm FOUP清洗机
清洗设备
FOUP / Pod清洁工
M800 300mm FOUP清洁剂
M800 300mm FOUP清洁剂
M800全自动300mm FOUP清洗机结合了最佳的颗粒和AMC清洗性能,并在最高的吞吐量提供湿度控制。
M330全自动FOUP清洗机
M330 FOUP全自动清洗机
M330清洗机是一个世界级的全自动foup兼容系统,提供卓越的洗涤和干燥性能,操作简便和成本效益。
M600自动Pod清洗机
M600自动Pod清洗机
M600全自动中央力清洗机是RSP150或RSP200自动清洗的完美解决方案。在手动模式下,可清洗所有类型的刻线或晶圆载体。
M300半自动FOUP/Pod清洗机
M300半自动FOUP/Pod清洗机
M300半自动清洗机是适用于各种载体(SMIF,开式盒式,FOUP, FOSB, RSP和Clamshell)的通用离心力清洗机。它达到了无与伦比的清洗和干燥效果。
EUV舱清洁
M1000 EUV Pod Cleaner
EUV舱清洁
M1000全自动EUV pod清洗机通过单独清洗每个EUV或RSP200部分提供最大性能。
干净的存储
十字线储料器
M1500半自动
M1500半自动十字线装箱机
布鲁克斯半自动M1500网眼箱储存多达1,500网眼在其情况。标识十字线框ID,并将数据文件记录到数据库中。
M1900十字线储料器
M1900十字线储料器
四种型号:全自动半裸机,全自动RSP150,全自动EUV POD装料机,半自动。
十字线存储
十字线存储
RPS-C SMIF吊舱自动存储和管理系统
RPS-C SMIF吊舱自动存储和管理系统
RPS-C是一个完全自动化的独立存储和库存管理系统,用于带可选xCDA或N2清除的标线SMIF吊舱(RSP)。
RS Bare Reticle Stocker家族
RS Bare Reticle Stocker家族
RS系列提供了一个全自动的标线管理系统,该系统结合了一个分类器和一个最多2900标线的储存能力。
RS-C十字线存储检测系统
RS-C十字线存储检测系统
RS-C是一种全自动、高度灵活的6英寸独立存储和检测系统。
RX线装料机和载体缓冲器
RX线装料机和载体缓冲器
RX系列是一种新型的线架储存器和载体缓冲器的组合,用于管理整个fab的线架。
RXi线检测、分拣和存储平台
RXi线检测、分拣和存储平台
RXi是一个6英寸的全自动独立检测系统。
晶圆载体及包装盒
分划板框
分划板框
兆光情况下
一个快速
B超
C迅速
D双
定制的
硅片
硅片
6”晶片载体
8英寸晶片载体
晶片运输箱
晶片运输箱
200mm晶圆运输箱
200mm单晶片运输箱
十字线处理
M2十字线兑换商
M2十字线兑换商
布鲁克斯M2导线变换器是一种导线/掩模交换和检测系统。单个I/O工作站允许在所有扫描仪/步进器和运输盒之间传输刻线/掩模,如佳能,尼康,ASML, Toppan, Hoya, DMS盒等)。
狭窄的十字线索引器
狭窄的十字线索引器
改善十字线库存的效果。保护丝网免受各种来源的颗粒污染和空气分子污染,同时提供一个标准的界面,以光刻工具。
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